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반도체에 10나노미터(10억분의 1미터) 이하 간격으로 소자를 새겨넣는 초미세 선단 공정이 시작되면서 '원자현미경(AFM, Atomic Force Microscope)'이 핵심 장비로 떠오르고 있다. 원자의 특성을 사용해 대상을 미세 계측·검사해야 할 만큼 반도체들이 정밀해졌기 때문이다. 이에 다양한 반도체 제조장비 기업들이 원자현미경 개발에 뛰어들고 있다. 제원호 서울대학교 물리학과 교수가 설립한 멀티스케일인스트루먼트(이하 멀티스케일)도 원자현미경으로 시장에 도전장을 내민 스타트업이다. 멀티스케일은 최근 한국투자액셀러레이터, 블루포인트파트너스, 삼익매츠벤처스에서 시드 투자를 유치하며 본격적인 사업의 시작을 알렸다. 특히 정밀기계부품 제조사 삼익THK의 CVC(기업형 벤처캐피탈)인 삼익매츠벤처스가 투자에 참여하면서 장비 양산 등에 속도가 붙을 것으로 보인다. ━수정진동자 방식으로 '비접촉' 검사…가격경쟁력도 높아━멀티스케일은 통상 원자현미경에서 사용되는 '캔틸레버' 방식이 아닌 '수

수정 진동자 기반 반도체 인라인용 원자 현미경 개발 기업 멀티스케일인스트루먼트가 한국투자액셀러레이터, 블루포인트파트너스, 삼익매츠벤처스에서 시드투자를 유치했다고 28일 밝혔다. 멀티스케일인스트루먼트는 비접촉·비파괴 측정을 할 수 있는 현미경을 개발하는 스타트업이다. 수정 진동자의 압전 효과를 활용해 기존의 캔틸레버 방식의 원자 현미경(AFM)보다 높은 감도·속도·정확성을 보여주는 것이 특징이다. 반도체 제조 공정 중 인라인(in-line·실시간)으로 웨이퍼 표면의 원자 단위 수준의 형상이나 결함을 검사하는 데 활용된다. 멀티스케일인스트루먼트는 제원호 서울대학교 물리학과 교수가 설립한 교수창업 기업이다. 제 대표는 수정 진동자 기반 정밀 측정 기술 분야에서 20년 이상의 연구 경력을 보유한 학계 권위자로도 평가받는다. 투자자들은 멀티스케일인스트루먼트의 장비가 반도체 공정에 활용되면 상당한 파급효과를 가져올 수 있을 것으로 기대했다. 한국투자액셀러레이터 관계자는 "원자 현미경으로 반도체

자율주행 로봇을 기반으로 스마트 순찰서비스를 제공하는 스타트업 도구공간이 삼익THK의 CVC(기업형 벤처캐피털) 삼익매츠벤처스로부터 시리즈A 투자를 유치했다고 27일 밝혔다. 투자금액은 비공개다. 2017년 설립된 도구공간은 자체 개발한 순찰로봇을 기반으로 순찰 서비스 뿐 아니라 제어·관제툴, 보안서비스 등을 제공하는 스타트업이다. 2020년 퓨처플레이로부터 시드 투자를, 2021년 휴맥스와 퓨처플레이로부터 프리 시리즈A 투자를 유치했다. 2020년 이후로는 3년 연속 10억원 이상의 매출액을 기록하고 있다. 올해는 5월 SK쉴더스와의 업무협약을 통해 '안내순찰로봇 구독서비스'를 출시하고 6월에는 삼익THK의 스마트 팩토리를 위한 '공장순찰 자율주행로봇' 연구개발 업무협약을 맺는 등 성과를 냈다. 도구공간은 이번 시리즈A 투자가 본격적인 로봇 양산 및 사업 확장에 큰 도움이 될 것으로 기대하고 있다. 지난 6년간 연구개발에 집중되어 있던 인력 구성에서 영업·마케팅 역량을 강화하고 중