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[이 기사에 나온 스타트업에 대한 보다 다양한 기업정보는 유니콘팩토리 빅데이터 플랫폼 '데이터랩'에서 볼 수 있습니다.] 원자 현미경 제조 기업 멀티스케일인스트루먼트(MSI)가 딥테크 팁스(TIPS)에 선정됐다고 17일 밝혔다. 딥테크 팁스는 중소벤처기업부가 지원하는 '초격차 스타트업 1000+' 프로젝트의 일환으로 기술력이 우수한 스타트업을 선정해 3년간 최대 15억원의 기술개발 자금과 2억원의 사업화 및 마케팅 자금을 지원하는 프로그램이다. 기존 팁스에 비해 지원금 규모가 3배 가량 큰 만큼 기술력·사업성 등 평가 기준이 까다롭다. MSI는 수정(水晶) 진동자 방식의 나노미터 이미징 기술로 차세대 반도체 산업에 최적화된 계측·검사 솔루션을 제공한다. MSI의 비접촉·비파괴 측정 방식은 점점 더 미세해지고 복잡해지는 반도체 공정 단계에서 높은 신뢰성의 검사 장비에 적합하다. 제원호 MSI 대표는 서울대 물리학과 교수로 재직하며 20년 이상 쌓아온 수정 진동자 기반 정밀 측정 분야

반도체에 10나노미터(10억분의 1미터) 이하 간격으로 소자를 새겨넣는 초미세 선단 공정이 시작되면서 '원자현미경(AFM, Atomic Force Microscope)'이 핵심 장비로 떠오르고 있다. 원자의 특성을 사용해 대상을 미세 계측·검사해야 할 만큼 반도체들이 정밀해졌기 때문이다. 이에 다양한 반도체 제조장비 기업들이 원자현미경 개발에 뛰어들고 있다. 제원호 서울대학교 물리학과 교수가 설립한 멀티스케일인스트루먼트(이하 멀티스케일)도 원자현미경으로 시장에 도전장을 내민 스타트업이다. 멀티스케일은 최근 한국투자액셀러레이터, 블루포인트파트너스, 삼익매츠벤처스에서 시드 투자를 유치하며 본격적인 사업의 시작을 알렸다. 특히 정밀기계부품 제조사 삼익THK의 CVC(기업형 벤처캐피탈)인 삼익매츠벤처스가 투자에 참여하면서 장비 양산 등에 속도가 붙을 것으로 보인다. ━수정진동자 방식으로 '비접촉' 검사…가격경쟁력도 높아━멀티스케일은 통상 원자현미경에서 사용되는 '캔틸레버' 방식이 아닌 '수

수정 진동자 기반 반도체 인라인용 원자 현미경 개발 기업 멀티스케일인스트루먼트가 한국투자액셀러레이터, 블루포인트파트너스, 삼익매츠벤처스에서 시드투자를 유치했다고 28일 밝혔다. 멀티스케일인스트루먼트는 비접촉·비파괴 측정을 할 수 있는 현미경을 개발하는 스타트업이다. 수정 진동자의 압전 효과를 활용해 기존의 캔틸레버 방식의 원자 현미경(AFM)보다 높은 감도·속도·정확성을 보여주는 것이 특징이다. 반도체 제조 공정 중 인라인(in-line·실시간)으로 웨이퍼 표면의 원자 단위 수준의 형상이나 결함을 검사하는 데 활용된다. 멀티스케일인스트루먼트는 제원호 서울대학교 물리학과 교수가 설립한 교수창업 기업이다. 제 대표는 수정 진동자 기반 정밀 측정 기술 분야에서 20년 이상의 연구 경력을 보유한 학계 권위자로도 평가받는다. 투자자들은 멀티스케일인스트루먼트의 장비가 반도체 공정에 활용되면 상당한 파급효과를 가져올 수 있을 것으로 기대했다. 한국투자액셀러레이터 관계자는 "원자 현미경으로 반도체