'반도체 검사 원자 현미경' 멀티스케일인스트루먼트, 시드투자 유치

수정 진동자 기반 반도체 인라인용 원자 현미경 개발 기업 멀티스케일인스트루먼트가 한국투자액셀러레이터, 블루포인트파트너스, 삼익매츠벤처스에서 시드투자를 유치했다고 28일 밝혔다.

멀티스케일인스트루먼트는 비접촉·비파괴 측정을 할 수 있는 현미경을 개발하는 스타트업이다. 수정 진동자의 압전 효과를 활용해 기존의 캔틸레버 방식의 원자 현미경(AFM)보다 높은 감도·속도·정확성을 보여주는 것이 특징이다. 반도체 제조 공정 중 인라인(in-line·실시간)으로 웨이퍼 표면의 원자 단위 수준의 형상이나 결함을 검사하는 데 활용된다.

멀티스케일인스트루먼트는 제원호 서울대학교 물리학과 교수가 설립한 교수창업 기업이다. 제 대표는 수정 진동자 기반 정밀 측정 기술 분야에서 20년 이상의 연구 경력을 보유한 학계 권위자로도 평가받는다.

투자자들은 멀티스케일인스트루먼트의 장비가 반도체 공정에 활용되면 상당한 파급효과를 가져올 수 있을 것으로 기대했다. 한국투자액셀러레이터 관계자는 "원자 현미경으로 반도체 공정의 인라인 공정 정밀 계측 및 검사 자동화를 효과적으로 해결할 수 있을 것으로 보고 투자를 결정했다"고 말했다.

멀티스케일인스트루먼트는 이번 투자금을 바탕으로 정밀 측정 기술을 한층 고도화하고, 멀티 헤드 원자 현미경 설계를 통해 웨이퍼의 이미징 속도를 획기적으로 향상시킬 계획이다.

제원호 대표는 "이번 투자 유치를 통해 기술 고도화와 제품 상용화에 더욱 속도를 낼 수 있게 됐다"며 "차세대 반도체 산업의 핵심 공정에서 새로운 솔루션 및 표준을 제시할 수 있도록 최선을 다하겠다"고 말했다.

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기자 사진 고석용 기자 gohsyng@mt.co.kr 다른 기사 보기

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