'반도체 검사 원자 현미경' 멀티스케일인스트루먼트, 시드투자 유치
수정 진동자 기반 반도체 인라인용 원자 현미경 개발 기업 멀티스케일인스트루먼트가 한국투자액셀러레이터, 블루포인트파트너스, 삼익매츠벤처스에서 시드투자를 유치했다고 28일 밝혔다. 멀티스케일인스트루먼트는 비접촉·비파괴 측정을 할 수 있는 현미경을 개발하는 스타트업이다. 수정 진동자의 압전 효과를 활용해 기존의 캔틸레버 방식의 원자 현미경(AFM)보다 높은 감도·속도·정확성을 보여주는 것이 특징이다. 반도체 제조 공정 중 인라인(in-line·실시간)으로 웨이퍼 표면의 원자 단위 수준의 형상이나 결함을 검사하는 데 활용된다. 멀티스...
고석용기자
2025.05.28 10:57:49