K-연구소기업 또 일냈다…초미세입자 잡고 반도체 '수율 혁신'
[이 기사에 나온 스타트업에 대한 보다 다양한 기업정보는 유니콘팩토리 빅데이터 플랫폼 '데이터랩'에서 볼 수 있습니다.] 반도체 공정 불량의 주범 중 하나는 '보이지 않는 먼지', 즉 파티클이다. 이 미세 입자는 머리카락 굵기의 1만분의 1 수준만 돼도 회로를 망가뜨릴 수 있다. 최근 이 파티클을 공정 배기라인에서 실시간으로 탐지하고 크기·개수까지 분석할 수 있는 센서가 국내 기술로 상용화됐다. 한국표준과학연구원(표준연)의 기술을 바탕으로 설립된 연구소기업 '제노센스'가 주인공이다. 이 회사는 50나노미터(nm, 1nm는 10억분의 1m) 크기까지 잡아내는 실시간 파티클 센서 제품(상품명: RTCPS)를 개발, 대기업 A사 파운드리 사업부에 초도 납품했다. 또 다른 반도체 대기업 B사와는 PoC(기술검증)를 진행 중이며, 해외 고객과의 접점도 빠르게 넓히고 있다. 최정태 제노센스 대표는 "최근 해외 반도체 제조 관련 파트너사와 화상회의를 진행했고, 12월에 장비를 직접 보러 올 예정
대전 =류준영기자
2025.10.21 06:00:00