인투코어테크놀로지는 독자 플라즈마 기술을 바탕으로 반도체·친환경 에너지 사업을 수행하는 기업입니다. 고주파 유도결합 플라즈마(ICP)와 고전력 제어 기술을 활용해 원거리에서 플라즈마를 발생하는 RPS(Remote Plasma Source) 장치를 개발했습니다. 플라즈마 가스 변환 기술로 신재생에너지 사업도 모색하고 있습니다. 반도체 초미세 공정, 친환경 에너지 활용 가능성에 대해 인정받아, 2023년 6월, ‘지유소부장프로젝트일호조합(한국성장금융, IBK기업은행, 신한캐피탈, TKG벤처스 등 참여)'으로부터 시리즈B 125억원 규모 투자 유치에 성공했습니다.
인투코어테크놀로지는 독자 플라즈마 기술을 바탕으로 반도체·친환경 에너지 사업을 수행하는 기업입니다. 고주파 유도결합 플라즈마(ICP)와 고전력 제어 기술을 활용해 원거리에서 플라즈마를 발생하는 RPS(Remote Plasma Source) 장치를 개발했습니다. 플라즈마 가스 변환 기술로 신재생에너지 사업도 모색...