세계 첫 '플라즈마 실시간 측정센서', 민간 기술이전 눈앞
소·부·장(소재·부품·장비) 국산화 R&D(연구개발) 관련 대표 성과로 꼽혔던 한국표준과학연구원(이하 표준연)의 '플라즈마 밀도 실시간 측정센서' 기술이 내달 민간에 이전될 것으로 보인다. 이는 반도체·디스플레이 공정에 사용되는 플라즈마 양을 실시간으로 측정할 수 있는 센서다. 종전처럼 가동 장비를 멈추지 않고도 사용할 수 있다는 이점 때문에 관련 기업의 문의가 많았던 것으로 전해졌다. 표준연 측은 "이번 기술이전을 위한 기술이전료를 반도체·디스플레이 분야 다수의 기업들과 협의 중"이라며 "이르면 내달 기술이전 계약 체결이 될 것으로 예상한다"고 밝혔다. 기술이전료란 정부출연연구기관 소속 연구진의 R&D 성과를 활용하고자 하는 기업이 지식재산권을 획득하는 대가로 지불하는 금액이다. 홍석환 표준연 기술이전그룹장은 "이번 기술은 반도체·디스플레이 장비 성능평가 및 제품 수율 향상에 도움이 되는 데다 한국 원천 특허 등록을 기반으로 미국·유럽·중국·일본 등 4개국 특허 출원이 완료된 상태
류준영 기자
2022.08.22 17:48:19