유니콘팩토리

반도체에 10나노미터(10억분의 1미터) 이하 간격으로 소자를 새겨넣는 초미세 선단 공정이 시작되면서 '원자현미경(AFM, Atomic Force Microscope)'이 핵심 장비로 떠오르고 있다. 원자의 특성을 사용해 대상을 미세 계측·검사해야 할 만큼 반도체들이 정밀해졌기 때문이다. 이에 다양한 반도체 제조장비 기업들이 원자현미경 개발에 뛰어들고 있다. 제원호 서울대학교 물리학과 교수가 설립한 멀티스케일인스트루먼트(이하 멀티스케일)도 원자현미경으로 시장에 도전장을 내민 스타트업이다. 멀티스케일은 최근 한국투자액셀러레이터, ...

수정 진동자 기반 반도체 인라인용 원자 현미경 개발 기업 멀티스케일인스트루먼트가 한국투자액셀러레이터, 블루포인트파트너스, 삼익매츠벤처스에서 시드투자를 유치했다고 28일 밝혔다. 멀티스케일인스트루먼트는 비접촉·비파괴 측정을 할 수 있는 현미경을 개발하는 스타트업이다. 수정 진동자의 압전 효과를 활용해 기존의 캔틸레버 방식의 원자 현미경(AFM)보다 높은 감도·속도·정확성을 보여주는 것이 특징이다. 반도체 제조 공정 중 인라인(in-line·실시간)으로 웨이퍼 표면의 원자 단위 수준의 형상이나 결함을 검사하는 데 활용된다. 멀티스...