반도체 초미세공정 난제, 신소재로 풀었다...어썸레이 신사업 박차
[이 기사에 나온 스타트업에 대한 보다 다양한 기업정보는 유니콘팩토리 빅데이터 플랫폼 '데이터랩'에서 볼 수 있습니다.] 스타트업 어썸레이가 최근 반도체 펠리클 소재 개발에 도전장을 내밀었다. 펠리클은 반도체 제조공정에서 EUV(극자외선)장비를 사용할 때 이물질과 열로 인한 마스크와 웨이퍼의 손상을 막는 막(필터) 형태의 부품이다. 어썸레이는 펠리클 소재가 미래성장동력이 될 것으로 보고 개발·사업화에 집중하고 있다. 어썸레이는 CNT(탄소나노튜브) 기반 산업용 공기정화장치, 저선량 엑스레이를 개발하는 기업으로 출발했다. 2022년...
고석용기자
2025.04.17 08:06:35