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국내 연구진이 반도체 전체 공정 수율을 끌어올릴 수 있는 '실시간·비접촉' 방식의 유량측정센서를 세계 최초로 개발, 상용화에 본격 나섰다. 이는 공정을 멈추지 않고도 디스펜서(에폭시 수지 등을 분사하는 장비)에서 토출되는 양을 안전하고 정밀하게 모니터링하는 기술이다. 이 기술을 응용하면 세척, 식각공정 등에 쓰이는 황산 등 약액의 유량도 비접촉식으로 측정할 수 있다. 15일 한국표준과학연구원(이하 표준연)에 따르면 유량측정팀이 개발한 '적외선 흡수 스펙트럼 기반 유량측정기술'을 상용화하기 위해 반도체 장비·부품 개발기업인 에이지디(AGD)와 함께 지난 5월 합작투자회사인 '퓨리센스'를 설립하고, 지난달 연구소기업 전환 신청을 했다. 이달 과학기술정보통신부로부터 연구소기업으로 정식 승인을 받으면 이 회사는 표준연 제11호 연구소기업이 된다. 연구소기업이란 공공연구기관이 개발한 기술을 직접 사업화하기 위해 설립 자본금 중 10% 이상을 출자해 연구개발특구 안에 설립하는 기업으로 각종