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[스타트업에 대한 보다 다양한 기업정보는 유니콘팩토리 빅데이터 플랫폼 '데이터랩'에서 볼 수 있습니다. ] 반도체 박막 정밀계측 장비를 개발하는 스타트업 헬리오스가 파트너스라운지, 경북창조경제혁신센터, 포스텍홀딩스로부터 프리시드 투자를 유치했다고 19일 밝혔다. 지난해 12월 설립된 헬리오스는 인하대학교 물리학과 유석재 교수가 창업했다. 유석재 대표는 인하대 물리학과 연구실에서 다년간 축적한 광학 계측 원천기술을 바탕으로 사업화에 나섰다. 헬리오스가 개발 중인 솔루션은 반도체 웨이퍼 위에 쌓이는 박막의 두께를 정밀하게 측정하는 차세대 계측 장비다. 박막에 빛을 비춰 반사된 빛의 변화를 분석하는 방식이다. 기존 장비가 빛의 파장(색)만을 측정 변수로 사용했다면 헬리오스의 '마이크로 엘립소메트리(Micro Ellipsometry)'는 파장과 각도를 동시에 활용한다. 하나의 대물렌즈로 다양한 각도와 파장의 빛을 한 번에 분석해 사전 정보 없이도 정밀한 자동 계측이 가능하다. 현재 글로벌 반도체 박막 계측장비 시장은 미국이 사실상 독점하고 있어 국산화 요구가 큰 영역으로 꼽힌다.