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[이 기사에 나온 스타트업에 대한 보다 다양한 기업정보는 유니콘팩토리 빅데이터 플랫폼 ‘데이터랩’에서 볼 수 있습니다. ] 반도체 검사·계측장비 전문기업 엠아이티가 한국거래소 지정 전문평가기관의 기술성 평가에서 A등급을 획득했다고 15일 밝혔다. 엠아이티는 이번 평가에서 자체 개발한 멀티프로브(Multi-Probe) 기반 초고속 자동 초음파 검사 플랫폼의 기술 혁신성과 사업화 가능성을 인정받았다. 기존 초음파 자동검사장비는 단일 프로브(Single Probe) 방식이 주를 이뤄 검사 속도와 생산성 향상에 한계가 있었다. 엠아이티는 다수의 초음파 프로브를 동시에 구동하는 멀티프로브 플랫폼을 독자 개발해 검사 처리량을 높였다. 이를 통해 적층형 웨이퍼와 반도체 패키지, 기판 등의 고속 전수 검사를 가능하게 했다. 또한 멀티프로브 운용 과정에서 발생할 수 있는 프로브 간 감도 편차와 신호 정합 문제를 자체 알고리즘으로 보정해 결함 검출 신뢰성을 확보했다. 최근 인공지능(AI) 반도체와 고대역폭메모리(HBM), 하이브리드 본딩, 3D 패키징 등 첨단 패키징 기술이 확산되면서 적층 구조 내부의 미세 결함을 신속하게 검사할 수 있는 고처리량 초음파 검사장비의 수요가 증가하고 있다.