반도체 제조공정 정전기 막는다…라드피온, 세계 최초 UMIS 개발
[이 기사에 나온 스타트업에 대한 보다 다양한 기업정보는 유니콘팩토리 빅데이터 플랫폼 '데이터랩'에서 볼 수 있습니다.] 이온주입기술 전문기업 라드피온이 세계 최초로 '초고밀도 대면적 금속이온원'(UMIS)의 개발에 성공했다고 2일 밝혔다. UMIS는 반도체·디스플레이 제조공정뿐만 아니라 차세대 메모리와 AI(인공지능) 반도체 분야에서도 핵심 기술로 주목받고 있다. 2017년 설립된 라드피온은 이온주입기술을 활용해 반도체 제조공정에서 발생하는 정전기 방전을 예방하는 '이온주입 반도체 제전부품'을 공급한다. 라드피온이 개발한 UMIS는 초고밀도 금속이온 발생과 인출을 통해 구리(Cu) 이온 기준 최대 100mA 이상의 금속 이온빔 인출이 가능하다. 이는 기존 상용 금속이온원(HVEE, Danfysik 등)과 비교해 20배 이상 향상된 성능이다. 특히 플라즈마 최적화와 정밀 제어 기술을 통해 금속이온화율과 빔 순도를 대폭 향상해 복잡한 질량 분리 과정 없이 95% 이상의 순수한 금속 이
최태범 기자
2025.04.02 12:00:00